23 Февраля 2012 г.
О компании Новости Продукция Услуги Технологии Публикации Контакты
Версия для печати
Главная страница :: О компании :: Наши клиенты

Наши клиенты

Российский федеральный ядерный центр — Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики
Российский федеральный ядерный центр — Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики
г. Саров
Казанский научно-исследовательский институт радиоэлектроники (КНИИРЭ)
Казанский научно-исследовательский институт радиоэлектроники (КНИИРЭ)
г. Казань
Российский федеральный ядерный центр - ВНИИ технической физики им. академика Е.И. Забабахина
Российский федеральный ядерный центр - ВНИИ технической физики им. академика Е.И. Забабахина
г. Снежинск
ФГУП НИИПИ Кварц
ФГУП НИИПИ Кварц
г. Нижний Новгород
РПКБ
РПКБ
г. Раменское
СП Физико-Технический институт
СП Физико-Технический институт
г. Санкт-Петербург
НИИ Стрела
НИИ Стрела
г. Тула
МИЭТ
МИЭТ
г. Зеленоград
СТАРТ
СТАРТ
г. Пенза
ВИАМ
ВИАМ
г. Москва
Полёт
Полёт
г. Нижний Новгород
Орбита
Орбита
г. Саранск
ВНИИА им. Духова
ВНИИА им. Духова
г. Москва
Компания ЭСТО-Вакуум партнер РОСНАНО
1. Проектирование установок по ТЗ заказчика на базе выпускаемого оборудования.<br /> 2. Проектирование оригинального оборудования по ТЗ заказчика.<br /> 3. Совместный поиск технических решений под технологические задачи. Разработка технологического оборудования.<br /> 4. Машиностроительное обеспечение проектов «Роснано»<br /> 5. Организационное обеспечение продвижения проектов в «Роснано» с последующим машиностроительным и маркетинговым обеспечением.
Всё для производства гибридных интегральных схем - ГИС
Вакуумное оборудование для исследования и обработки арсенида галлия (GaAs).<br /> Наша компания выпускает ряд вакуумно-технологических установок для исследования и обработки арсенида галлия (GaAs).<br /> Для прецизионного травления арсенида галлия с высоким аспектным отношением установки плазмохимического травления в плазме высокой плотности (ТСР) – «Caroline PE 15»<br /> Для осаждения диэлектрических слоёв – аналогичная установка «Caroline PECVD 15».<br /> Для напыления большого спектра материалов различными методами – «Caroline D 12 A1».
Вакуумные установки для напыления алюминиевой разводки силовых приборов.<br /> Наша фирма разработала и серийно выпускает вакуумные установки магнетронного напыления для напыления толстых (более 10 мкм.) слоев алюминия, сильноточные диоды, тиристоры и т.д.<br /> Для напыления титана, алюминия, никеля, серебра других металлов и сплавов с высокой производительностью и повторяемостью от процесса к процессу в одном вакуумном цикле 48 пластин &#216; 100 мм. или 28 пластин &#216; 150 мм. (толщиной до 30мм.) мы выпускаем установку «Caroline D 12 B» .<br /> Для большей производительности установка «Caroline D 12 C», которая имеет в два раза большую загрузку 96 пластин диаметром 100 мм. <br />
Вакуумное оборудование для производства микроэлектронных механических систем.<br /> Наша фирма выпускает ряд вакуумных установок для производства микроэлектронных механических систем (МЭМС).<br /> Для прецизионного травления кремния с высоким аспектным отношением установки плазмохимического травления в плазме высокой плотности (ТСР) – «Caroline PE 15».<br /> Для осаждения диэлектриков – аналогичная установка «Caroline PECVD 15».<br /> Для напыления большой гаммы материалов различными методами – «Caroline D 12 A1».<br />
Травление полупроводниковых лазеров.<br /> Травление эпитаксиальных структур полупроводниковых лазеров с применением ТСР генераторов плазмы высокой плотности наша компания занимается с момента основания.<br /> Для прецизионного травления структур арсенида галлия и нитрида галлия является установка «Caroline PE 15», её особенностью является низкий уровень радиационных нарушений при травлении полупроводниковых структур в следствии независимого управления плотностью плазмы (порядка 1012 электронов в см3 ) и энергией ионов (от 20 до 250 eV), присущих конструкции реактора данной установки.<br /> При травлении подобных структур энергия ионов не превышает 150 eV.
 
©2007 ООО «ЭСТО-Вакуум», 124460, г.Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.4, стр.1
тел./факс: +7 (499) 710-6000, +7 (499) 710-6011, +7 (499) 729-7910, +7 (499) 729-8001, e-mail: info@esto-vacuum.ru
www.esto-vacuum.ru

Использование материалов без письменного разрешения ООО «ЭСТО-Вакуум» запрещено!
Rambler's Top100
   Файлы
Распечатано 23.02.2012 с официального сайта компании "ЭСТО-Вакуум".
©2007 ООО «ЭСТО-Вакуум», 124460, г.Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.4, стр.1
тел./факс: +7 (499) 710-6000, +7 (499) 710-6011, +7 (499) 729-7910, +7 (499) 729-8001, e-mail: info@esto-vacuum.ru
Перейти к нормальному виду