23 Февраля 2012 г.
О компании Новости Продукция Услуги Технологии Публикации Контакты
Версия для печати
Главная страница :: Контакты

Контакты

Юридический и физический адрес (для указания в бухгалтерских документах)

124460, г.Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.4, стр.1, ООО «ЭСТО-Вакуум»

 
Почтовый адрес (ТОЛЬКО для отправки документов почтой)

124617, г.Москва, Зеленоград, а/я 60, ООО «ЭСТО-Вакуум»

 
Телефон/факс

+7 (499) 710-60-00, +7 (499) 710-60-11

+7 (499) 729-79-10, +7 (499) 729-80-01

 
E-mail

info@esto-vacuum.ru

 
Генеральный директор - Челапкин Данил Геннадьевич

danil@esto-vacuum.ru

Челапкин Данил Геннадьевич в 1996 году окончил Казахский государственный университет по специальности «ядерная физика». C 1996 по 1999 гг. проходил службу в ВС РК в звании гвардии «старший лейтенант». В октябре 1999 г. принят на работу в Институт Ядерной Физики Казахского Ядерного Центра в лабораторию ядерных процессов на должность инженера. За время работы в ИЯФ опубликовал ряд статей в российских и зарубежных издательствах на темы: «Экситонная модель предравновесного распада ядра», «Спектрометрия ядерных измерений».

В марте 2001 г. принят на работу на Владимирский завод «Электроприбор» мастером 2 группы участка микроэлектроники. В августе 2001 г. принят на работу в ЗАО «Электронсервис» на должность инженера, в июле 2005 переведен в ЗАО «НПП ЭСТО» на должность начальника участка вакуумного оборудования. В 2005 году пришел в компанию «ЭСТО-Вакуум» на должность начальника производства, а с 2007 года возглавлял департамент производства в должности Директора производственного департамента. С мая 2009 года является Генеральным директором ООО «ЭСТО-Вакуум».

 
Директор департамента проектирования - Белецкий Владимир Евгеньевич

vb@esto-vacuum.ru

Белецкий Владимир Евгеньевич закончил Московский автомобильно-дорожный институт в 1981 году по специальности «механическое оборудование автоматических установок».
С 1982 по 1991 гг. работал инженером-конструктором, начальником сектора в НИИ Вакуумной техники им. Векшинского. С 1991 по 1994 гг. руководил конструкторским бюро в «МЭШ» ТОО. С 1995 по 2003 гг. занимал должность заместителя генерального директора по продажам и маркетингу в ЗАО «Электрод сервис», руководил отделом продаж и складом, занимался организацией системы продаж и информационно-аналитической работой.
В 2003 году совместно с Берлиным Е.В. организовал проектно-сборочное предприятие «ЭСТО-Вакуум», возглавив проектно-конструкторское направление деятельности компании. За годы работы на разнопрофильных предприятиях успешно проводил их реорганизацию и выработал системный подход, который отражен в аналитических статьях. В настоящее время является соучредителем компании «ЭСТО-Вакуум» и занимает должность Директора департамента проектирования.

 
Директор департамента научных исследований и перспективных разработок - Берлин Евгений Владимирович

berlin@esto-vacuum.ru

Директор департамента научных исследований и перспективных разработок ООО «ЭСТО-Вакуум» Берлин Евгений Владимирович в 1978 году окончил Воронежский Государственный Университет по специализации «Физика плазмы». До 1985 года работал в Воронежском НИИПМ, занимался разработкой вакуумного напылительного и плазмохимического оборудования. С 1986 по 1989 года в аспирантуре НИИВТ им. Векшинского разрабатывал установки ионно-плазменного травления.

В 1990 г. был одним из организаторов ООО «МЭШ-Плюс», в котором работал главным инженером до 1994 года. С 1994 года по 2003 год в ЗАО НПП «ТИРС» занимал должность заместителя директора по науке. В 2003 году организовал общество с ограниченной ответственностью «ЭСТО-Вакуум» и возглавлял его по май 2009 года. За годы своей работы опубликовал около 40 статей, посвященных вакуумной технике и технологиям, а в 2007 году совместно с Двининым С.А. и Сейдманом Л.А. выпустил книгу «Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких плёнок». В настоящий момент ведёт научную работу компании, в должности Директора департамента научных исследований и перспективных разработок возглавляя отдел экспериментального оборудования.


За годы своей работы зарегистрировал несколько патентов на изобретения:

Автор и правообладатель патентов:

В 2001 году Патент № 2171555

В 2006 году Патент № 2285742 и Патент № 2287875

Соавтор в патентах:

В 2007 году Патенты № 2296180, 2296181, 2296182

 
Начальник отдела производственной логистики -
Суворова Вита Владимировна

vita@esto-vacuum.ru

 
Техническая поддержка

support@esto-vacuum.ru

 
Менеджер по снабжению: Наумова Инна Иосифовна

inna@esto-vacuum.ru

 
Менеджер по работе с клиентами: Федотова Ольга Александровна

marketing@esto-vacuum.ru

 
Компания ЭСТО-Вакуум партнер РОСНАНО
1. Проектирование установок по ТЗ заказчика на базе выпускаемого оборудования.<br />
2. Проектирование оригинального оборудования по ТЗ заказчика.<br />
3. Совместный поиск технических решений под технологические задачи. Разработка технологического оборудования.<br />
4. Машиностроительное обеспечение проектов «Роснано»<br />
5. Организационное обеспечение продвижения проектов в «Роснано» с последующим машиностроительным и маркетинговым обеспечением.
Всё для производства гибридных интегральных схем - ГИС
Вакуумное оборудование для исследования и обработки арсенида галлия (GaAs).<br />
Наша компания выпускает ряд вакуумно-технологических установок для исследования и обработки арсенида галлия (GaAs).<br />
Для прецизионного травления арсенида галлия с высоким аспектным отношением установки плазмохимического травления в плазме высокой плотности (ТСР) – «Caroline PE 15»<br />
Для осаждения диэлектрических слоёв – аналогичная установка «Caroline PECVD 15».<br />
Для напыления большого спектра материалов различными методами – «Caroline  D 12 A1».
Вакуумные установки для напыления алюминиевой разводки силовых приборов.<br />
Наша фирма разработала и серийно выпускает вакуумные установки магнетронного напыления для напыления толстых (более 10 мкм.) слоев алюминия, сильноточные диоды, тиристоры и т.д.<br />
Для напыления титана, алюминия, никеля, серебра других металлов и сплавов с высокой производительностью и повторяемостью от процесса к процессу в одном вакуумном цикле 48 пластин &#216; 100 мм.  или 28 пластин &#216; 150 мм. (толщиной до 30мм.) мы выпускаем установку «Caroline D 12 B» .<br />
Для большей производительности установка «Caroline D 12 C», которая имеет в два раза большую загрузку 96 пластин диаметром 100 мм. <br />
Вакуумное оборудование для производства микроэлектронных механических систем.<br />
Наша фирма выпускает ряд вакуумных установок для производства микроэлектронных механических систем (МЭМС).<br />
Для прецизионного травления кремния с высоким аспектным отношением установки плазмохимического травления в плазме высокой плотности (ТСР) – «Caroline PE 15».<br />
Для осаждения диэлектриков – аналогичная установка «Caroline PECVD 15».<br />
Для напыления большой гаммы материалов различными методами – «Caroline  D 12 A1».<br />
Травление полупроводниковых лазеров.<br />
Травление эпитаксиальных структур полупроводниковых лазеров с применением ТСР генераторов плазмы высокой плотности наша компания занимается с момента основания.<br />
Для прецизионного травления структур арсенида галлия и нитрида галлия является установка «Caroline PE 15», её особенностью является низкий уровень радиационных нарушений при травлении полупроводниковых структур в следствии независимого управления плотностью плазмы (порядка 1012 электронов в см3 ) и энергией ионов (от 20 до 250 eV), присущих конструкции реактора данной установки.<br />
При травлении подобных структур энергия ионов не превышает 150 eV.
 
   Файлы
Распечатано 23.02.2012 с официального сайта компании "ЭСТО-Вакуум".
©2007 ООО «ЭСТО-Вакуум», 124460, г.Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.4, стр.1
тел./факс: +7 (499) 710-6000, +7 (499) 710-6011, +7 (499) 729-7910, +7 (499) 729-8001, e-mail: info@esto-vacuum.ru
Перейти к нормальному виду