IСР-разряд позволяет травить материалы микроэлектроники высоким разрешением (менее 0,2 мкм) и осаждать слои из парогазовых смесей, обеспечивая при этом высокую эффективность и качество проведения процесса.Устройство «ТСР антенна охлаждаемая d220» защищено патентом № 2 171 555, приоритет от 06.03.2000.