НАЗНАЧЕНИЕ:Вакуумно-технологическая установка «Caroline PE12» предназначена для плазмохимического, ионно-химического и ионного травления тонких плёнок в вакууме на любых плоских (толщина не более 30 мм.) подложках размером до Ø 250 мм.Эта установки полностью автоматизированного управления с поштучной обработкой пластин Ø до 250 мм. снабжена генератором плазмы высокой плотности (патент РФ № 2 171 555) со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13,56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы. Для улучшения теплоотвода от подложки предусмотрен так называемый «гелиевый теплоотвод», который подразумевает подачу гелия между подложкой и поверхностью стола, что позволяет поддерживать небольшой перепад температур между поверхностью электрода и подложки. Установка обеспечивает:· стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;· автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»; · специальными согласующими устройствами;· вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью для удобства обслуживания. · по желанию Заказчика возможно размещение других узлов травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры (опция). УСЛОВИЯ ЭКСПЛУАТАЦИИ:Установка предназначена для работы при температуре 15÷30˚С относительно влажности 65±15%, атмосферном давлении 9,9х104 Па (750 ±30 мм.рт.ст.). Питание установки осуществляется от трехфазной четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В ± 10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50А.
Установка обеспечивает работу при подаче в нее:
· холодной воды с температурой 5÷20˚С под давлением (4÷5 кгс/см.2) с расходом 0,6 м3/час, также необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм.;· сжатого воздуха под давлением 4÷6 кгс/см2.;· кислорода газообразного под давлением 1÷1,5 кг/см.2, аргона газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см.2, азота газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см.2. На установке реализованы следующие технологии:· травление меди, золота, серебра, платины и многих других материалов ионным распылением; · травление кремнийсодержащих слоев (оксиды, нитриды, поликремний, КНС, монокристаллический кремний), кварцевых подложек, пьезокварца со скоростями до 1 мкм/мин. с хорошим качеством поверхности на глубину более 100 мкм.;· травление арсенида галлия, нитрида галлия, и других сложных полупроводников;· травление любых полимерных слоев; · превосходная очистка керамики от любых загрязнений;· для электровакуумных приборов обработка в водородной плазме заменяет высокотемпературный водородный отжиг. Установка поставляется с автоматизированной управляющей и тестовой технологической программами либо на лабораторной базе Исполнителя под технологию Заказчика может быть произведена отработка технологии с последующим переносом её на заказанную установку (опция).
Количество подложек, обрабатываемых за 1 цикл (шт.) | 1 | Размеры обрабатываемых подложек (мм) | до Ø 250 | | Автономная замкнутая система водоснабжения с температурой выше точки росы при любых режимах эксплуатации и охлаждением от оборотной воды предприятия | | | Стартовое давление в рабочей камере, Па | 1х10-3 | | Расход подаваемых в камеру рабочих газов по одному каналу (л/час) | 0÷9 | | ВЧ мощность, подаваемая на антенну генератора плазмы | 100÷900 Вт,13,56 МГц | | Частота напряжения смещения | 100 кГц, или 13,56 МГц | | Мощность, подаваемая на столик, Вт | до 900 | | Равномерность на Ø 150 мм. при травлении SiO2 , % | ±1 | | Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» насоса не более, мин. | 60 | | Габаритные размеры агрегата технологического (ширина × глубина × высота) с открытой крышкой, мм. | 1322х850х1980 | | Масса со стойкой питания и управления, кг. | до 1400 кг. |
|
:: Продукция :: Установки :: Caroline PE12
