НАЗНАЧЕНИЕ Установка «Caroline D12В» - полностью автоматическая установка магнетронного напыления, предназначена для магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм.) подложки размером до Ø150 мм (максимальная плоскость обрабатываемых деталей 150×350 мм): Установка комплектуется магнетронами в количестве до 4-x с размером мишени 440×100×6÷13 мм. (например, РС, хром, медь, никель, алюминий, ванадий и т.д.), изнутри цилиндрического барабана для напыления: резистивных пленок из материалов типа РС–3710;
РС–5406; РС–1004 и т.д.; пленок титана, нитрида или окиси титана; нитрида тантала; алюминия толщиной до 15 мкм.; меди до 15 мкм. двуокиси кремния и нитрида кремния толщиной до 4 мкм. и со скоростью напыления до 1,5 мкм/час на барабан
Установка обеспечивает:очистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока; нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев; стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу; отпыливание мишени любого из одного - четырех магнетронов на управляемую заслонку; вертикальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающемся барабане; полностью автоматическое выполнение программ «от загрузки до загрузки»; контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля; размещение изделий на легко снимаемых с барабана носителях с целью сокращения времени загрузки и выгрузки.
Вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью большого размера для удобства загрузки-выгрузки носителей. Для обслуживания камеры она поднимается над плитой – основанием с помощью гидроподъемника. Установка в предельном варианте комплектации имеет два комплекта блоков питания магнетрона и ионного источника и блок подачи смещения на барабан-подложкодержатель. Возможно размещение нестандартных узлов нанесения или травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры. УСЛОВИЯ ЭКСПЛУАТАЦИИУстановка предназначена для работы при температуре +15÷+30oС относительно влажности 65 ±15%, атмосферном давлении 9,9×104 Па (750 ±30мм.рт.ст.). Питание установки осуществляется от трехфазной, четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В ±10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50 А. Установка обеспечивает работу при подаче в нее: холодной воды с температурой 15 oС±5 oС под давлением (4±5 кгс/см2) с расходом 0,6 м3/час. кислорода газообразного под давлением 1±1,5 кг/см2, аргона газообразного марки «особо чистый» под давлением 1±1,5 кг/см2, азота газообразного марки «особо чистый» под давлением 1±1,5 кг/см2.
Необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм. Установки поставляются с автоматизированной и тестовой технологической программами либо отработка технологии может быть произведена на лабораторной базе Исполнителя под технологию Заазчика с последующим переносом ее на заказанную установку. На установке реализованы следующие технологии: На установке реализованы следующие технологии:напыление РС–3710 с поверхностным сопротивлением 20÷1000 Ом/□ и более; напыление нитрида тантала с поверхностным сопротивлением 20÷150 Ом/□ и ТКС менее 5×10-5; напыление толстых (до 15 мкм. и более) слоев металла; напыление последовательных слоев РС и металла в одном цикле; напыление двуокиси кремния и нитрида кремния из кремниевой мишени.
Технические ХАРАКТЕРИСТИКИКоличество подложек, обрабатываемых за 1 цикл (шт.) | 42 шт. Ø100 мм., 28 шт. Ø150 мм., 111 шт. 60×48 мм. | Размеры обрабатываемых подложек, мм. | до Ø150 мм. | Установка полностью автоматизирована | | Автономное управление заслонками на всех позициях напыления | | Автономная замкнутая система водоснабжения с температурой выше точки росы при любых режимах эксплуатации и охлаждением от оборотной воды | | | Стартовое давление в рабочей камере, Па | 1х10-3 | Расход подаваемых в камеру рабочих газов по одному каналу (л/час) | 0÷9 | Количество подаваемых (неагрессивных) газов до (шт.) | 3 | Количество устройств ионной очистки изделий (шт.) | 1 | Возможна установка термических испарителей | до 2 | Допустима работа источника плазмы совместно с магнетроном на смеси газов | | Количество магнетронов в установке, шт. | 1÷4 | Тип магнетронов для напыления пленок | Импульсный
среднечастотный | Рабочий ток магнетронов регулируемый, А | 0,5÷10 (30) | Рабочее напряжение магнетронов, В | 300÷650 | Материал и размер мишеней: металлы, сплавы, РС, кремний (могут использоваться составные мишени не прямого охлаждения), мм. | 440×100×6±15 | Допустимое давление в камере при работе магнетронов, Па | 0,07÷0,3 | Предусмотрен вариант напыления на охлаждаемую подложку с подачей смещения 100 КГц | | Мощность генератора смещения | 4 КВА | Диапазон контроля сопротивления свидетеля, кОм | 0,2÷20 | Погрешность измерения сопротивления (%) | ±1 | Предусмотрен вариант установки кварцевого измерителя толщины (опция) | | Рекомендуемая температура нагрева подложек ,оС (маскимальная 300 оС) | 50÷250 | Нестабильность температуры подложек (%) | ±5 | Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па | 2х10-4 | Время подготовки установки к работе с учетом “разгона” крионасоса не более, мин. | 110 | Габаритные размеры агрегата вакуумного ширина×глубина×высота (с открытой крышкой), мм. | 1450×850×2530 | Масса со стойкой питания и управления, кг. | до 1700 |
Caroline D12B с "чистой комнатой" |
:: Продукция :: Установки :: Caroline D12B
