НАЗНАЧЕНИЕ:

Установка «Caroline IE12» – полностью автоматизированная вакуумно-технологическая установка предназначена для травления тонких слоев резистивных сплавов, металлов и диэлектриков на керамических, кремниевых и любых плоских (толщина не более 30 мм.) подложках размером до Ø 150 мм. (максимальная плоскость обрабатываемых деталей 150х320 мм.).
Установка имеет два вертикально установленных протяженных ионных источника с размером ионного луча по вертикали 350 мм. и может быть использована для травления через фоторезистивную или металлическую маску.

Установка обеспечивает:

• стабилизацию заданного расхода технологических газов по двум каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;

• вертикальное расположение ионных источников и изделий на вращающемся барабане;

• автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;

• автоматическое окончание травления пленок по заданному времени;

• размещение изделий на легко снимаемых с барабана носителях с целью сокращения времени загрузки и выгрузки;

• вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью большого размера для удобства обслуживания;

• в стандартной комплектации в установке в качестве высоковакуумного насоса используется криогенный насос, который может быть заменен на турбомолекулярный или паромасляный насос (опция);

• по желанию Заказчика возможно размещение других узлов травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры (опция).

УСЛОВИЯ ЭКСПЛУАТАЦИИ:

Установка предназначена для работы при температуре 15÷30˚ С относительно влажности 65±15%, атмосферном давлении 9,9х10⁴ Па (750 ±30 мм.рт.ст.).
Питание установки осуществляется от трехфазной четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В ± 10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50А.

Установка обеспечивает работу при подаче в нее:

• • холодной воды с температурой 5÷20˚С под давлением (4÷5 кгс/см.²) с расходом 0,6 м³/час, также необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм.;
  • сжатого воздуха под давлением 4÷6 кгс/см.²;
  • кислорода газообразного под давлением 1÷1,5 кг/см.², аргона газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см.2, азота газообразного марки «особо чистый» под давлением 1÷1,5 кг/см.²
  

Необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм.

Установка поставляется с автоматизированной управляющей и тестовой технологической программами либо на лабораторной базе Исполнителя под технологию Заказчика может быть произведена отработка технологии с последующим переносом её на заказанную установку.

На установке реализованы следующие технологии:

• травление резистивных пленок из материалов типа РС – 3710; РС – 5406; РС-1004;

• травление пленок титана и тантала, их оксидов и нитридов;

• травление металла, в том числе золота или меди;

• травление двуокиси кремния и нитрида кремния;

• травление диэлектрических слоёв;

• травление любых материалов распылением ионами аргона.