 | Caroline D12AАвтоматизированная установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления |
 | Caroline D12A1Автоматизированная установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления с возможностью ионного ассистирования с размещением подложек на плоской горизонтальной карусели и загрузочной дверью. |
 | Caroline D12BАвтоматизированная установка магнетронного напыления с ионным ассистированием и размещением подложек вертикально на барабане. |
 | Caroline D12B1Автоматизированная установка двустороннего несения упрочняющих, коррозийно-стойких и декоративных покрытий с планетарной каруселью и загрузочной дверью. |
 | Caroline D12B2Вакуумно-технологические установки предназначены для двустороннего магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм.)подложки. |
 | Caroline D12B3Вакуумно-технологические установки предназначены для двустороннего магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм.)подложки. |
 | Caroline D12CАвтоматизированная установка магнетронного напыления с ионным ассистированием размещением подложек вертикально на барабане с камерой увеличенной высоты для больших объемов производства. |
 | Caroline PE12Автоматизированная установка для плазмохимического, ионно-химического и ионного травления тонких плёнок в вакууме |
 | Caroline IE12Автоматизированная установка ионного травления с загрузочной дверью и размещением подложек вертикально на барабане. |
 | Caroline PE15Автоматизированная шлюзовая установка плазмохимического и ионнохимического травления. |
 | Caroline PECVD15Автоматизированная шлюзовая установка плазмостимулированного осаждения слоёв из газовой фазы. |
 | Caroline NT 15Автоматизированная шлюзовая установка
для осаждения углеродных нанотрубок |
:: Продукция :: Установки